第二百五十八章 光刻机组装计划(2 / 4)

进行模拟了。”

从软件中找到了代表X光的选项，然后便开始设置X光的照射方向和角度，以及波长。

根据他之前的计算，能够更好地发挥衍射作用，X光的波长不能太小了，不然的话，波长太小的X光，穿透性能也更强，想要控制其衍射，就更难了。

所以，X光的波长应当为3.56nm。

而这是利用衍射效应，所以不能像EUV光那样垂直照射，而是需要一个角度，也正是需要利用控制X光的入射角度，来控制X光的放大和缩小。

“唔，那就从30度入射角开始吧。”

输入了几个数据后，眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了X光的粗虚线，这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中，随后，X光便开始在其中开始了衍射的过程，粗的虚线在衍射的过程中，被分解为了几道虚线，然后又不断地在里面穿透，直到最后，穿透了这个晶体，最后形成了一个更大的照射面。

看到这一幕，林晓微微一笑。

不错，就和计算中的一样。

当入射角小于57.5度的时候，X光就能够被放大，而入射角大于这个角度的时候，X光就会被缩小。

这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小，而是将X光束的辐照范围给放大和缩小，就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦或者扩散一样，这是一个道理。

通过这种方式，X光就拥有了规模生产的能力。

随后，他继续测试，通过调整晶体结构来改变入射角度，进而实现对X光的放大和缩小。

经过多次测试，已经可以毫无疑问地确定，这个晶体结构，达到了他所需要的程度。

那么，现在的问题就来了，要怎么生产出这样的晶体！

这个晶体的元素他早就已经选好了，仍然是硅。

硅的最外层电子数为4，这就意味着其可塑性十分强，虽然它做不到像碳那样，能够形成多种多样的同素异形体，但是通过工艺的设计，并非不能达到这样的程度，在凝聚态和材料学中，就有一个概念叫做无定形，无定形硅不存在晶体硅那样延展开的晶格结构，其原子间的晶格网络呈无序排列，利用这个原理，再根据特殊的工艺设计，就能够达到林晓想要的这个结构。

而至于为什么不选碳，则是因为碳原子太小，即使是选择10nm的X光，都可能轻松地穿过其合成的透镜，所以硅就成为了最合适的。

而就现