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而后,每台光刻机操作台前都站着一名人员,则按下了电脑主机的启动键,而后,负责控制整台光刻机的电脑,便启动了。

系统采用的是linux系统,桌面上什么都没有,只有一个软件。

软件名叫【X光计划光刻机控制面板】。

这个软件,便是X光计划软件组搞出来的,可以说,从X光计划开始之后,他们便一直都在写这样一个软件。ъìQυGΕtV.℃ǒΜ

这个控制面板就相当于他们X光刻机的操作系统了,软件并不复杂,但是里面的代码,就相当的复杂了。

光刻机本身的硬件能否达标,是保证光刻机性能的关键,而软件,就关系到能否正常发挥出性能的作用了,当然,即使把软件给做出来了,也得会用软件,否则的话都是白搭。

像华芯国际和台积电都买了阿斯麦尔的DUV光刻机,但是台积电能够做到用DUV光刻机生产7nm芯片的技术,而华芯国际却只能做到14nm,便是因为不能很好地运用软件。

当然,在使用软件之前,他们也得先保证眼前这个软件是能够正常工作的。

首先点开软件,经过了一番缓慢地加载后,终于,进入了软件的首页面,全中文操作界面,不包含一个英文字母。

而这时,林晓也走到了其中一台光刻机操作台前,指挥道:“先对整台光刻机进行一遍系统自检。”

“是!”

负责操作这台光刻机的工作人员立即应道,随后便进入了控制面板-系统界面,点击了系统自检。

既然是自检,那自然是检测一下内部每个零部件能否正常运行,当然最关键的,还是检测一下这些机械运行的精度能否达标,以及X光源能否正常激发,并且能否正常被RDX纯硅晶体镜规律衍射等。

经过片刻的加载后,显示器上便出现了进度条,这是自检开始了,不过,光刻机内部依然安静,不像其他机器一样,一运作起来就有各种噪声。

因为,有声音,就说明有震动,而对于光刻机来说,哪怕是一点震动都是致命的,所以光刻机里面一切机械,都基本上做到了无摩擦,像双工作台也都是利用磁悬浮的方式来避免发生震动,当然,双工作台也算是光刻机核心机械中唯二会动的了,然后就是控制透镜的机械臂也会动,其他的核心零部件基本都不会动,变数越多,越难控制。

就这样,时间慢慢过去了,所有人都沉声凝气,或者是面露紧张之色,等待着结果的出现,甚

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