第371章 黑历史(3 / 3)

到了14nm，目前已经进入风险试产的阶段，良品率在85%，勉强可以进行工业化。

“陈教授，制程工艺非常好，但我们缺少高精度的双工作台，短时间内是不可能大批量生产的。”

“嗯？”

陈诺准确的get到了钱富民话中的信息点：“钱院长，您说的没法大批量是什么意思？”

“陈教授，我们做不出高精度的机床，原因有两个，一是工业技术和材料，二是机床的控制系统。

中联、沈机、二机这些大型的重工集团虽然在丝杠、直线导轨上有所突破，但高端轴承一直不行，所以机床精度上不去，双工台这种自然就没办法突破。”

“上次您拆了那台的光刻机，我们研究了一下，对工作台的技术有些技术上的收获，改良后我们生产出了自己的机器，良品率达到了85%，勉强可以工业化。”

“陈教授，你若是只要几枚7nm的，我们倒是可以想办法在实验室不计成本的给您弄几枚，但想要大规模生产，至少得一年以后了。”

“如果有euv的那种高精度双工作台，一个月后我都给你搞出来5nm的。”

听着钱富民的话，陈诺直接翻了个白眼，他要是有那玩意，还费这么多话干啥？

一年后，黄花菜都凉了。

机床这玩意，系统来都不好使。

即便系统给他一台机床，他拿出来怎么跟别人解释？

这事还是得靠自己来解决。

“教授，要不要我出手给您试试？”

出了微电子研究所，陈诺正准备上车，一号智脑的声音在耳机中响起。